Χαρακτηριστικά:

1) Η ταχύτητα εναζώτωσης είναι ταχύτερη, ο κύκλος εναζώτωσης μπορεί να μειωθεί κατάλληλα και ο χρόνος ιοντικής εναζώτωσης μπορεί να μειωθεί στο 1/3-2/3 του χρόνου εναζώτωσης αερίου.

2) Η ευθραυστότητα του στρώματος εναζώτωσης είναι μικρή και το λευκό στρώμα που σχηματίζεται στην επιφάνεια της εναζώτωσης πλάσματος είναι πολύ λεπτό ή και καθόλου. Επιπλέον, η παραμόρφωση που προκαλείται από το στρώμα εναζώτωσης είναι μικρή, κάτι που είναι ιδιαίτερα κατάλληλο για εξαρτήματα ακριβείας με σύνθετα σχήματα.

3) Μπορεί να εξοικονομηθεί κατανάλωση ενέργειας και αμμωνίας. Η κατανάλωση ηλεκτρικής ενέργειας είναι 1/2-1/5 της αέριας εναζώτωσης και η κατανάλωση αμμωνίας είναι 1/5-1/20 της αέριας εναζώτωσης.

4) Είναι εύκολο να πραγματοποιηθεί τοπική εναζώτωση, εφόσον το μέρος που δεν θέλει εναζώτωση δεν παράγει λάμψη, το μέρος που δεν εναζωτώνεται είναι εύκολο να προστατευθεί και η λάμψη μπορεί να προστατευθεί με μηχανική θωράκιση και πλάκα σιδήρου.

5) Ο βομβαρδισμός με ιόντα μπορεί να καθαρίσει την επιφάνεια και να αφαιρέσει αυτόματα την μεμβράνη παθητικοποίησης. Ο ανοξείδωτος χάλυβας και ο ανθεκτικός στη θερμότητα χάλυβας μπορούν να νιτριδωθούν απευθείας χωρίς να αφαιρεθεί προηγουμένως η μεμβράνη παθητικοποίησης.

6) Η δομή της σύνθετης στρώσης, το πάχος της στρώσης διήθησης και η δομή μπορούν να ελεγχθούν.

7) Το εύρος θερμοκρασίας επεξεργασίας είναι ευρύ και ένα ορισμένο πάχος στρώματος νιτρίδωσης μπορεί να επιτευχθεί ακόμη και κάτω από 350 °C.

8) Οι συνθήκες εργασίας έχουν βελτιωθεί. Η επεξεργασία με νιτρίωση πλάσματος και χωρίς ρύπανση πραγματοποιείται υπό πολύ χαμηλή πίεση με πολύ λίγα καυσαέρια. Η πηγή αερίου είναι άζωτο, υδρογόνο και αμμωνία και ουσιαστικά δεν παράγονται επιβλαβείς ουσίες.

9) Μπορεί να εφαρμοστεί σε όλα τα είδη υλικών, συμπεριλαμβανομένου του ανοξείδωτου χάλυβα, του ανθεκτικού στη θερμότητα χάλυβα με υψηλή θερμοκρασία εναζώτωσης, του χάλυβα εργαλείων και των εξαρτημάτων ακριβείας με χαμηλή θερμοκρασία εναζώτωσης, ενώ η εναζώτωση χαμηλής θερμοκρασίας είναι αρκετά δύσκολη για την εναζώτωση αερίου.